レシピ管理システム (RMS)
レシピ管理システム（RMS)は、アクセス制御、バージョン管理、ビジュアル編集、機器へのダウンロード/アップロードなど、
工場内のレシピ/製品仕様管理を制御できるシステムです。
主な機能は以下の通りです。
GEM300 / GEM / SECS ドライバー
GEM300/GEM/SECS ドライバーは、200mm標準および300mm標準向けの半導体、PV、MEMS、LEDの工場の機器を自動化できる機器接続パッケージです。
GEM300は「SEMI 300mm標準」に完全に準拠しています。
GEM300/GEM/SECSドライバーは、半導体、PV、MEMS、LED製造の自動化を可能にする高度な装置接続パッケージです。
主な機能は以下の通りです。
CyberEDA
CyberEDA は、ウェーハ処理およびテスト装置からのデータを収集および分析するように設計された装置統合パッケージです。
主な機能は以下の通りです。
CyberSIM
CyberSIMは、半導体工場のホストと装置の両方をシミュレートするSECS接続テストツールです。
機器メーカーに対しては機器ソフトウェアの出荷前に回帰テストを実行するためにCyberSIMが使用可能です。
CyberSIMは、半導体工場のホストと装置の両方をシミュレートするSECS接続テストツールです。
